一、 面向SiC和GaN功率半導(dǎo)體柵極應(yīng)力測(cè)試   

在SiC和GaN寬帶隙材料中，新故障機(jī)制的某些影響不會(huì)體現(xiàn)在傳統(tǒng)測(cè)試中，但會(huì)影響實(shí)際應(yīng)用。

DGS測(cè)試（動(dòng)態(tài)柵極應(yīng)力）彌補(bǔ)了該認(rèn)證差距，其要求明顯超出之前的測(cè)試程序，并且更具應(yīng)用針對(duì)性。

DGS是一種使用快速電壓偏移來(lái)激勵(lì)柵子故障機(jī)制的測(cè)試。該測(cè)試系統(tǒng)涵蓋了所有相關(guān)的測(cè)試規(guī)范。此外，其運(yùn)行自動(dòng)化，并提供詳細(xì)的報(bào)告供進(jìn)一步數(shù)據(jù)分析使用。

二、系統(tǒng)特性 

在DGS測(cè)試方面，可將行業(yè)擴(kuò)展要求轉(zhuǎn)換為自動(dòng)化動(dòng)態(tài)測(cè)試。為滿足快速變化的需求，我們十分注重系統(tǒng)的靈活性。

除激勵(lì)外，DGS測(cè)試系統(tǒng)還提供多個(gè)原位測(cè)量，以確定規(guī)定時(shí)間段內(nèi)的相關(guān)參數(shù)。這些原位測(cè)量有效地顯示了動(dòng)態(tài)柵極應(yīng)力對(duì)柵氧化物的長(zhǎng)期影響，并支持您為客戶提供精確的說(shuō)明。